铝蚀刻深度不够产生的原因是什么?排除方法是什么? 一:产生的原因: 1、蚀刻液温度太低 2、蚀刻时间太短 3、蚀刻溶液老化,浓度低
二:排除方法:
1、加温蚀刻液至工艺规定范圈 2、适当延长 蚀刻时间 3、弃掉部分旧蚀刻液添加新的蚀刻液,或通过分析调整